Vanuit 'n professionele perspektief is die produksieproses van 'n mikroskyfie uiters ingewikkeld en tydrowend. Vanuit die volledige industriële ketting van IC word dit egter hoofsaaklik in vier dele verdeel: IC-ontwerp → IC-vervaardiging → verpakking → toetsing.
Skyfieproduksieproses:
1. Skyfie-ontwerp
Die skyfie is 'n produk met klein volume maar uiters hoë presisie. Om 'n skyfie te maak, is ontwerp die eerste deel. Die ontwerp vereis die hulp van die skyfie-ontwerp van die skyfie-ontwerp wat nodig is vir verwerking met behulp van die EDA-instrument en sommige IP-kerne.
Skyfieproduksieproses:
1. Skyfie-ontwerp
Die skyfie is 'n produk met klein volume maar uiters hoë presisie. Om 'n skyfie te maak, is ontwerp die eerste deel. Die ontwerp vereis die hulp van die skyfie-ontwerp van die skyfie-ontwerp wat nodig is vir verwerking met behulp van die EDA-instrument en sommige IP-kerne.
3. Silikon-opheffing
Nadat die silikon geskei is, word die oorblywende materiale laat vaar. Suiwer silikon het na verskeie stappe die kwaliteit van halfgeleiervervaardiging bereik. Dit is die sogenaamde elektroniese silikon.
4. Silikongietblokke
Na suiwering moet die silikon in silikonstawe gegiet word. 'n Enkelkristal van elektroniese silikon weeg ongeveer 100 kg nadat dit in stawe gegiet is, en die suiwerheid van silikon bereik 99.9999%.
5. Lêerverwerking
Nadat die silikonstaaf gegiet is, moet die hele silikonstaaf in stukke gesny word, wat die wafer is wat ons algemeen die wafer noem, wat baie dun is. Daarna word die wafer gepoleer totdat dit perfek is, en die oppervlak is so glad soos die spieël.
Die deursnee van silikonwafers is 8 duim (200 mm) en 12 duim (300 mm) in deursnee. Hoe groter die deursnee, hoe laer die koste van 'n enkele skyfie, maar hoe hoër die verwerkingsmoeilikheidsgraad.
5. Lêerverwerking
Nadat die silikonstaaf gegiet is, moet die hele silikonstaaf in stukke gesny word, wat die wafer is wat ons algemeen die wafer noem, wat baie dun is. Daarna word die wafer gepoleer totdat dit perfek is, en die oppervlak is so glad soos die spieël.
Die deursnee van silikonwafers is 8 duim (200 mm) en 12 duim (300 mm) in deursnee. Hoe groter die deursnee, hoe laer die koste van 'n enkele skyfie, maar hoe hoër die verwerkingsmoeilikheidsgraad.
7. Verduistering en iooninspuiting
Eerstens is dit nodig om silikonoksied en silikonnitried wat buite die fotoresist blootgestel is, te korrodeer, en 'n laag silikon te presipiteer om tussen die kristalbuis te isoleer, en dan die etstegnologie te gebruik om die onderste silikon bloot te stel. Dan word die boor of fosfor in die silikonstruktuur ingespuit, dan word die koper gevul om met ander transistors te verbind, en dan word nog 'n laag gom daarop aangebring om 'n struktuurlaag te vorm. Oor die algemeen bevat 'n skyfie dosyne lae, soos dig verweefde snelweë.
7. Verduistering en iooninspuiting
Eerstens is dit nodig om silikonoksied en silikonnitried wat buite die fotoresist blootgestel is, te korrodeer, en 'n laag silikon te presipiteer om tussen die kristalbuis te isoleer, en dan die etstegnologie te gebruik om die onderste silikon bloot te stel. Dan word die boor of fosfor in die silikonstruktuur ingespuit, dan word die koper gevul om met ander transistors te verbind, en dan word nog 'n laag gom daarop aangebring om 'n struktuurlaag te vorm. Oor die algemeen bevat 'n skyfie dosyne lae, soos dig verweefde snelweë.
Plasingstyd: 8 Julie 2023
